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為了避免廢氣處理設備的功能，精度降低到規則的臨界值或缺點率，根據事先制定的計劃和技術要求進行的維修活動稱為設備的避免維修。國內外常用的避免維修方法是監測維修和及時維修。近年來，廢氣治理設備廠家提出了以可靠性為中心的維修(RCM)和質量修補(QM)也是避免修復的方法。
(1)情況監測修復
這是一種基于廢氣凈化設備實際技術的避免修復方法。一般選擇有機工業廢氣治理設備的日常點檢和及時檢查來查明設備的技術情況。根據設備的劣化部位和程度，在缺點發生前，及時避免修復，消除缺點的危險，恢復設備的功能和精度。在實施這種修復方法時，如選擇準確的監測和診斷技術來確定設備的技術情況，也被稱為預測修復。
(2)定期修理
這是一種基于化工廢氣治理設備運行時間的避免維修方法，具有定期維修設備的特點。根據設備磨損規則，提前確定維修類別、維修距離期、維修內容和技術要求。根據設備的計劃，維修計劃可以長期組織。及時維修方法適用于生產設備、自動化生產線的主要生產設備和連續運行的動能生產設備。
